INTEGRATED GAS SYSTEM>>Partajarea serii de produse IGS
VIGOR oferă sisteme avansate de gaz integrat (IGS) concepute special pentru controlul-de înaltă puritate a gazelor în industria de fabricare a semiconductoarelor. Soluțiile noastre combină inginerie inovatoare cu standarde stricte de producție pentru a asigura fiabilitatea, compactitatea și performanța superioară în aplicațiile critice.
Caracteristicile produsului
- Folosit pentru controlul gazelor în industria semiconductoarelor
- Design modular
- Toate componentele sunt montate la suprafață în conformitate cu standardul SEMl
- Dimensiunea este de aproximativ 1/3 din panoul tradițional
- Material standard SEMl, proces de electrolustruire și sudare orbitală
- Wseal și C-seal opțional
- Bagat dublu în camera curată
- Toate produsele, cu excepția „suporturilor”, sunt toate produse în conformitate cu specificația procesului VS001A
Regulatoare de presiune IGS Seria VIR
1. Max. Presiune de lucru: 150 psig
2. Max. Temperatura de lucru: -40 grade F ~ 140 grade F (-40 grade ~ 60 grade)
3. Presiune de ieșire: 0~100 psig
4. Finisajul suprafeţei: max. 5uin. Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
6. Scaun supapă: PCTFE (PFA/Vespel opțional)
7. Capacitatea debitului: Cv=0.08
Supape cu diafragmă IGS Seria VID
1. Max. Presiune de lucru: 150 psig
2. Max. Temperatura de lucru: PCTFE 14 grade F ~ 176 grade F (-10 grade ~ 80 grade); PFA 14 grade F~302 grade F (-10 grade ~ 150 grade)
3. Fără design fără fund
4. Suprafaţa umedă este tratată cu EP, Max. 5uin. Ra.
5. Material: 316L VIM-VAR
6. 100% Heliu-scurgeri-testate
7. Capacitatea debitului: Cv=0.1
Supape de control al debitului IGS Seria VIM
1. Max. Presiune de lucru: 150 psig
2. Max. Temperatura de lucru: 14 grade F ~ 302 grade F (-10 grade ~ 150 grade)
3. Etanșare: FKM
4. Suprafaţa umedă este tratată cu EP, Max. 5uin. Ra
5. Capacitatea debitului: Cv=0.03
Supape de reținere IGS Seria VICV
1. Max. Presiune de lucru: 150 psig
2. Max. Temperatura de lucru: 14 grade F~176 grade F (-10 grade ~ 80 grade)
3. Finisarea suprafeţei: max. 5uin. Ra
4. Presiune de cracare: 0,33 psig
5. Capacitatea debitului: Cv=0.2
Substraturi Seria VlB (sigiliu C-)
1. Sigiliu C-
2. Instalare ne-fixă pentru a asigura efectul de etanșare
3. Partea umedă este tratată cu EP
4. Finisajul suprafeței: Max. 5uin.Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
Seria de produse de bază
- Regulatoare de presiune IGS (seria VIR)
- Supape cu diafragmă IGS (seria VID)
- Supape de control al debitului IGS (seria VIM)
- Supape de reținere IGS (seria VICV)
- Suporturi și suporturi IGS (seria VIB)
- Garnituri (Seria VIG)
De ce să alegeți VIGOR IGS?
Sistemele noastre reprezintă o sinergie de inginerie de precizie și design practic, oferind:
- Eficiență în spațiu: dimensiunea panoului redusă dramatic.
- Ultra-puritate ridicată: materiale și procese adaptate pentru aplicații de calitate-semiconductorilor.
- Flexibilitate modulară: ușor de configurat, extins și întreținut.
- Fiabilitate dovedită: testare strictă și conformitate cu standardele SEMI-.
La VIGOUR, oferim mai mult decât doar componente-oferim soluții integrate care dau viață ideilor tale cu încredere și precizie.
