VIGOR Product Express|Întrerupător de debit Seria VEFS2

Condusă de inteligența artificială, calculul de înaltă{0}}performanță (HPC), electronica auto și aplicațiile Internet of Things, industria semiconductoarelor trece printr-o transformare rapidă. Această creștere remarcabilă, totuși, a introdus și noi provocări operaționale. Pe măsură ce scara de producție se extinde cu o rată fără precedent, gazele de specialitate cu risc ridicat, cum ar fi silanul și fosfina, sunt utilizate pe scară largă în fabricile de semiconductori. Orice scurgere necontrolată de gaz cauzată de ruperea conductei, fitinguri slăbite, defecțiunea etanșării sau instalarea necorespunzătoare poate escalada rapid într-un incident grav de siguranță, amenințănd siguranța personalului, deteriorând echipamentele critice de producție și provocând timpi neplanificați costisitoare. În acest context, întrerupătorul de debit în exces (EFS) VIGOUR, cu designul său de acționare pur mecanic și compatibilitatea excepțională cu puritate ultra-înaltă-(UHP), a devenit o siguranță indispensabilă pentru sistemele de alimentare cu gaz de specialitate, inclusiv dulapuri cu gaz și VMB, în liniile de producție de semiconductori din întreaga lume.

Principiul de bază al designului VIGOR EFS este detectarea condițiilor anormale de debit și răspunsul fiabil. Atunci când o defecțiune a conductei în aval are ca rezultat o creștere bruscă și excesivă a debitului care depășește punctul critic de declanșare-prestat, dispozitivul declanșează imediat un semnal de răspuns. Acest semnal este transmis prin deschiderea sau închiderea contactelor electrice în comutatorul reed-încorporat, care este apoi sincronizat și trimis către sistemul SCADA sau Sistemul de monitorizare a gazelor (GMS). Oferind alerte-în timp real și permițând răspunsuri automate rapide, susține managementul proactiv al siguranței, atenuează eficient pericolele potențiale și întărește fiabilitatea generală a rețelei de livrare a gazelor.

În procesele de fabricație a semiconductorilor, fiecare componentă a sistemului de gaz poate deveni o potențială sursă de contaminare. Chiar și particulele minuscule, impuritățile metalice sau adsorbția la suprafață pot compromite calitatea plachetelor și pot reduce randamentele de producție. Prin urmare, VIGOR respectă cu strictețe standardele stricte ale industriei semiconductoarelor pentru a asigura puritatea materialului, curățenia suprafeței și stabilitatea operațională.

În ceea ce privește standardele materialelor, VIGOR utilizează exclusiv oțel inoxidabil 316L produs prin tehnologia de topire dublă VIM/VAR. Acest proces metalurgic avansat reduce semnificativ incluziunile metalice și impuritățile reziduale, asigurând o rezistență excelentă la coroziune și minimizând riscul de contaminare cu gaz. Pentru tratarea suprafeței, toate produsele sunt supuse electrolușării avansate (EP), menținând o rugozitate internă a suprafeței de 5-10 μin. Un interior atât de neted și curat împiedică adsorbția moleculelor de gaz pe pereții interiori și elimină precipitarea particulelor, susținând o livrare de gaz stabilă și fără contaminare-.

În plus, VIGOR EFS oferă o selecție largă de puncte critice de declanșare și opțiuni flexibile de configurare pentru a se potrivi diverselor scenarii de aplicație. Prin potrivirea simplă a parametrilor, utilizatorii pot determina cu ușurință modelul precis pe baza unor tipuri specifice de gaz, condiții de presiune de funcționare și debite maxime permise. Acest grad ridicat de personalizare asigură o protecție precisă și fiabilă împotriva-debitului pentru diferite aplicații de gaz de puritate ultra{-înaltă-în fabricarea modernă de semiconductori.

  Comutator de flux pentru aplicații cu debit mare

 Disponibil cu linie principală orizontală sau verticală

 Cădere minimă de presiune prin dispozitiv

 Oțel inoxidabil SS 316L